磁流体密封装置的制造流程包括:
超高真空密封能力
采用优化磁流体及密封结构设计,可在 ≤1×10⁻⁹ Pa 的超高真空环境下稳定运行,且:低放气、低颗粒产生。
适用于反应性气体环境
采用氟化磁流体,可适应:腐蚀性气体、等离子环境、蚀刻工艺蚀刻工艺。
低启动扭矩
即使在低温或高负载条件下,仍可保持较低启动扭矩,确保运行平稳。
长寿命运行
在日本等高端设备中已验证,部分产品连续运行超过10年。
高温适应能力
采用耐高温磁流体及结构设计,可用于:高温真空环境、无法实施水冷的工况。
综合能力总结
依托:一体化设计制造体系、高精度加工设备、严格质量控制、完整追溯体系Moretec 可提供高可靠性磁流体密封装置,满足全球高端设备应用需求。