| 外观 | 型号 | 编号 | 密封结构 | 轴径 | 安装方式 | 使用环境 |
| ① | 轴结构 | S - 实心轴,H - 中空轴 |
|---|---|---|
| ② | 安装方式 | 法兰安装(F),螺母安装(N),通孔安装(T) |
| ③ | 使用环境 | 惰性气体环境(B),腐蚀性/反应性气体环境(G) |
| ④ | 轴径 | 010 =Ø10 |
| ⑤ | 冷却方式 |
自然冷却(N),水冷(W) |
| ⑥ | 密封结构 | 标准型(N),悬臂结构(C),重载型(H) |
| ⑦ | 补充说明 |
夹紧结构(Clamping Type)及特殊固定方式可作为定制选项提供 特殊冷却结构(如水冷+夹紧组合)需通过定制型号实现 |
| ⑧ | 定制说明 |
如标准型号无法满足应用需求,我们可提供定制化解决方案,包括:轴径与结构、安装方式、冷却方案、密封级数与性能参数实现与客户设备的精确匹配 |
是一种专用组件,旨在将旋转运动传递到真空腔内,同时消除气体泄漏和污染。它非常适合对密封完整性要求极高的应用。如今,真空旋转广泛应用于需要精确运动控制的系统中,例如硅生长、目标定位指示器、溅射、等离子刻蚀、化学气相沉积 (CVD)、离子注入和液晶显示器回收等。通过大限度地减少不必要的停机时间,这种磁流体在提高工艺效率和可靠性方面发挥着至关重要的作用。