磁流体在旋转轴与密封间隙中形成多级非接触式液态密封屏障,可有效阻隔气体泄漏,实现长期稳定的高气密性密封效果
超高真空(UHV)环境
高洁净度工艺系统
半导体设备
真空设备
适应宽温度与压差工况
磁流体密封能够在各温度范围及压差条件下保持稳定运行。
高温环境
高压差环境
腐蚀性气体环境
特殊工艺应用需求
满足复杂工况下的长期可靠运行要求。
零摩擦、无污染、使用寿命长
摩擦损耗
颗粒污染
旋转扭矩
从而提升设备长期运行的稳定性和可靠性,延长密封系统及整机寿命,降低维护频率和运营成本。
可根据客户工况需求提供定制化设计方案
轴径尺寸
安装接口结构
转速范围
工艺气体与工艺环境
真空等级及特殊性能要求
实现磁流体密封件与客户设备的精准匹配,提升设备整体性能与运行可靠性。