CFB015NNC01 双轴线性旋转送料器

这款高刚性双轴旋转密封装置具备线性运动功能，旨在提供卓越的旋转精度和最小的运行跳动。其50毫米的线性行程使其非常适合集成到集群工具和真空传输系统中。典型应用包括在真空环境中搬运晶圆和大型玻璃基板，为先进的加工设备提供稳定、精确的运动。